Dobbeltakset marmor lineær motormodul

Bygget på en 00-grade granitbase (valgt på grund af dens lave termiske ekspansionskoefficient og vibrationsdæmpende egenskaber), integrerer dette dobbeltaksede lineære motormodul i marmor to højtydende lineære motorakser med luftlejestyr for at levere ±0,5 μm gentagelsesnøjagtighed - ideel til halvlederlitografi, lasermetinologi, lasermetinologi og optisk systemer.

Designet til at imødekomme begrænsningerne af aluminium- eller stålbaserede dobbeltaksetrin (termisk drift, vibrationer, lav stivhed), vores dobbeltaksede lineære motormodul i marmor eliminerer mekanisk deformation under højhastighedsbevægelse (op til 2m/s pr. akse) og opretholder ensartet præcision på tværs af driftstemperaturer (-10℃ til 40). X-Y-aksens synkrone kontrolsystem (EtherCAT-baseret) muliggør bevægelsessynkronisering på nanometerniveau, som er afgørende for ultrapræcisionsprocesser såsom 7nm chippakning, mikrooptisk komponentfremstilling og avanceret 3D-måling.

Fremstillet i henhold til ISO 9001:2015 og ISO 10110 optiske kvalitetsstandarder, har dobbeltakset lineærmotormodul i marmor et forseglet kabelstyringssystem, antistatisk belægning og vakuumkompatible muligheder (til brug i halvlederrenrum). Kompatibel med brancheførende bevægelsescontrollere (Aerotech, PI, Newport) og metrologisystemer (Renishaw laserinterferometre) integreres problemfrit i ultrapræcisions produktionslinjer, hvilket forbedrer procesudbyttet med op til 20 % sammenlignet med konventionelle metalbaserede dobbeltaksetrin.

Produktserie

DT-GM-DX1-serien (kompakt præcision)

X-Y vandringsområde: 100×100 mm til 500×500 mm, ±0,5 μm gentagelsesnøjagtighed, 1m/s maks. hastighed pr. akse. Ideel til mikro-optisk komponentbearbejdning, præcisionsmetrologi, halvlederemballage i lille format.

DT-GM-DX2-serien (mellemklasse høj hastighed)

X-Y vandringsområde: 500×500 mm til 1000×1000 mm, ±1μm gentagelsesnøjagtighed, 2m/s maks. hastighed pr. akse. Velegnet til lasermikrobearbejdning, reparation af LCD-paneler, optisk inspektion i mellemformat.

DT-GM-DX-VAC-serien (vakuumkompatibel)

X-Y vandringsområde: 100×100 mm til 800×800 mm, ±0,5 μm gentagelsesnøjagtighed, vakuumvurdering 10⁻⁶ mbar. Designet til halvlederrenrumsapplikationer, vakuumbelægning og rumsimuleringssystemer.

Kerne fordele

1. 00-Grade Granit Base for uovertruffen stabilitet

Konstrueret af naturlig 00-grade granit (termisk udvidelseskoefficient ≤0,5×10⁻⁶/℃), leverer basen enestående termisk stabilitet (≤0,001mm/℃) og vibrationsdæmpning (dæmper 80% af højfrekvente vibrationer). Dette eliminerer termisk drift og mekanisk resonans - almindelige problemer med metalbaserede trin - i ultrapræcisionsfremstillingsprocesser.

2. Sub-Micron præcision med luftlejestyr

Integrerede luftbærende lineære føringer (i stedet for traditionelle kuglelejer) eliminerer friktion og slid og opnår ±0,5 μm gentagelsespositioneringsnøjagtighed og 1 nm opløsning (via Renishaw absolutte encodere). Det berøringsfrie design sikrer vedligeholdelsesfri drift over 100 millioner cyklusser, hvilket er afgørende for højvolumen ultrapræcisionsproduktion.

3. X-Y-akse Synchronous Motion Control

EtherCAT-baseret bevægelseskontrol i realtid muliggør synkronisering på nanometerniveau mellem X- og Y-akser (synkroniseringsfejl ≤50nm), der understøtter komplekse bevægelsesprofiler (cirkulær interpolation, spiralscanning), der kræves til lasermikrobearbejdning og optisk mønsterdannelse. Den åbne arkitektur er kompatibel med tredjeparts bevægelsessoftware (LabVIEW, MATLAB).

4. Høj stivhed og lav deformation

Forstærket granitstruktur med integreret ribbe giver en stivhed på ≥300N/μm, hvilket minimerer afbøjning under dynamiske belastninger (op til 50 kg pr. akse). Denne stabilitet sikrer ensartet præcision selv under højhastighedsacceleration (1g), hvilket reducerer procesvariation og forbedrer produktudbyttet.

5. Kan tilpasses til ultrapræcisionsapplikationer

Fuld tilpasning af vandringsområde (100×100 mm til 1000×1000 mm), enkoderopløsning (1nm til 1μm), vakuumkompatibilitet (10⁻³ til 10⁻⁶ mbar) og overfladefinish (Ra ≤0,02μm). Valgfrie funktioner omfatter antistatisk belægning, renrumskompatible materialer og integreret laserinterferometri til in-situ kalibrering.

6. Industriel pålidelighed til renrumsbrug

Beskyttelsesgrad IP67 (standard) / IP68 (vakuumversion), antistatisk belægning (10⁶-10⁹ Ω/sq) og lav partikelemission (Klasse 1 renrumskompatibel) gør den velegnet til halvlederfabrikater og renrum til optisk fremstilling. MTBF ≥40.000 timer under kontinuerlig drift, hvilket reducerer de samlede ejeromkostninger (TCO) med 30 % over 5 år.

Tekniske specifikationer

Granitbase (00 Grade)±0,5μm Gentagen positioneringsnøjagtighedX-Y-akse Synkron bevægelse Termisk stabilitet (≤0,001 mm/℃) Høj stivhed (≥300N/μm)

Applikationsscenarier

Deaotes lineære motormoduler i marmor med dobbelt akse er konstrueret til ultrapræcisionsfremstilling på tværs af globale højteknologiske sektorer:

● Halvleder og mikroelektronik: 7nm/5nm chippakning, waferinspektion, litografijustering, MEMS-enhedsfabrikation

● Optisk fremstilling: Mikro-optisk komponentbearbejdning (linser, prismer), fiberoptisk array-samling, lasermønster af glassubstrater

● Præcisionsmetrologi: 3D optisk måling, koordinatmålemaskine (CMM) bevægelsestrin, overfladeprofilering på nanometerniveau

● Lasermikrobearbejdning: Laserablation, mikroboring, præcisionsgravering af hårde materialer (silicium, safir, keramik)

● Luftfart og forsvar: Fremstilling af mikrosensorer, kalibrering af inerti-navigationskomponenter, samling af optisk satellitsystem

Om Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. er en førende højteknologisk virksomhed med speciale i F&U, fremstilling og salg af ultrapræcisionsbevægelseskomponenter - med fokus på granitbaserede lineære motormoduler til globale halvleder-, optiske- og rumfartsmarkeder. Med over 15 års ekspertise inden for præcisionsstøbning og ultra-præcisions bevægelsessystemdesign betjener vi kunder i hele Europa, Nordamerika, Japan og Korea i avancerede fremstillingssektorer.

Vores lineære motormoduler i marmor med dobbelt akse er udviklet i vores dedikerede ultra-præcisions bevægelses-F&U-laboratorium, der udnytter avanceret granitbearbejdning (±0,001 mm tolerance), laserkalibrering og luftbærende samlingsteknologier for at opnå sub-mikron nøjagtighed. Vi leverer end-to-end-tilpasningstjenester – fra moduldesign og prototyping til kalibrering på stedet og global teknisk support – og sikrer, at vores løsninger opfylder de unikke krav til ultrapræcisionsproduktionslinjer.

Deaote er forpligtet til "præcision på nanometerniveau, stabilitet i en levetid", og investerer 20 % af den årlige omsætning i F&U for at udvikle næste generations ultra-præcisions bevægelsesløsninger. Vores ISO 9001:2015 og ISO 10110 certificerede produktionsanlæg og globale servicenetværk sikrer hurtige svartider (≤48 timer) og lokal teknisk support, hvilket gør os til en betroet partner for producenter af high-end ultra-præcisionsudstyr over hele verden.